晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等，以及晶圆划线和晶圆激光退火
堆叠式三轴精密位移台采用模块化、超薄设计、正交性设计等理念，将RD-180标准模组集成在十字平台L2S125模组之上，能实现X、Y和T轴3自由度的高精度、高刚度运动。其中，RD-180采用了扁平的设计思想，能实现T方向高精度、高刚度无限制旋转。交叉十字平台L2S125模组采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。
*接口尺寸数据来源于LST190，且行程处于中间位。
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技术指标 |
LST190-365 |
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轴 |
X |
Y |
T |
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行程 |
365 mm |
365 mm |
360°,Infinite |
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最大速度 |
1 m/s |
1 m/s |
900°/s |
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加速度 |
10 m/s² |
10 m/s² |
6280°/s² |
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精度_校准前 |
±10 μm |
±10 μm |
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精度_校准后 |
±1 μm |
±1 μm |
±3 arcsec |
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双向重复精度 |
±0.5μm |
±0.5μm |
±2arcsec |
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直线度 |
±2 μm over range |
±2 μm over range |
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俯仰 |
±5 arcsec |
±10 arcsec |
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横滚 |
±5 arcsec |
±10 arcsec |
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偏摆 |
±10 arcsec |
±10 arcsec |
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正交性 |
±15 arcsec |
±15 arcsec |
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轴跳&径跳 |
NA |
NA |
±1.5 μm |
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位置稳定性（3σ）* |
±2 nm |
±2 nm |
±0.072 arcsec |
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Move1:10μm within±100nm* |
50 ms |
50 ms |
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Move2：25mm within±100nm* |
140ms |
140 ms |
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Move3：80mm within±100nm* |
170 ms |
170 ms |
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Move4：1deg within±40μdeg |
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100 ms |
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Move5：180deg within±40μdeg |
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500 ms |
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机械特征 |
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驱动负载（无负载） |
12 Kg |
28 Kg |
0.02022 Kg.m^2 |
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最大负载 |
2 Kg（可定制） |
2 Kg（可定制） |
2 Kg（可定制） |
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平台质量 |
50 Kg |
50 Kg |
50 Kg |
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外观尺寸 |
764×620×224.5 mm（行程处于中间位） |
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在LST190产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括编码器、Chuck 供气路数、控制系统等选项。 X轴底座可根据客户需求，改为大理石底座，可提供更高的定位精度。
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表1编码器选项 |
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-S1 |
标准款，Renishaw编码器 |
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-S2 |
高端款，Heidenhain编码器 |
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表 2 供气选项 |
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-C1 |
Chuck单气路供气 |
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-C2 |
Chuck双气路供气 |
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-C3 |
Chuck三气路供气 |
