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多轴运动台
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PS150极坐标精密位移台
PS150极坐标精密位移台
PS150极坐标精密位移台
主要特点

  • 高度模块化3轴平台,正交性设计
  • 全局平面度、直线度达微米级 

X轴

  • 高刚度直线导轨
  • 高动态响应、非接触直线电机驱动
  • 主动式风冷/水冷散热设计

Z轴

  • 垂向磁悬浮重力补偿,可实现高定位精度
  • 高刚性、高精度导向设计
  • 超薄型、轻量化设计
  • 模块化设计
  • 垂向最大可支持30mm 机械行程

T轴

  • 360°旋转,无管路缠绕
  • 支持12'、8'、6'多种规格晶圆吸附
  • 主动式风冷/水冷散热设计
  • 支持最大0.7mm翘曲晶圆
  • 最大支持转速150rpm

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主要应用

晶圆生产控制应用,例如薄膜计量、关键尺寸检查等

性能简介

极坐标精密位移台采用高度模块化、超薄型等设计理念,实现X、Z和T轴3自由度的高精度、高刚度直线和旋转运动。其中垂向采用了独特的大行程磁浮重力补偿技术,降低垂向电机的载荷,很大程度地提高垂向运动性能和寿命。

机械尺寸图

*接口尺寸数据来源于PS150,且垂向处于下限位。

技术参数
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技术指标

单位

PS150-155

 

X

Z

T

行程

 

155 mm

25 mm

360°,Infinite

最大速度

 

400 mm/s

40 mm/s

900°/s

加速度

 

4m/s²

1m/s²

6280°/s²

精度

 

±1μm

±0.4μm

±3 arcsec

双向重复精度

 

±0.5μm

±0.2μm/1mm

±2 arcsec

直线度

 

6 μm

NA

NA

俯仰

 

±20μrad
(4.5arcsec)

NA

NA

横滚

 

±20μrad
(4.5arcsec)

NA

NA

偏摆

 

±20μrad
(4.5arcsec)

NA

NA

轴向跳动

 

NA

NA

±2 μm

径向跳动

 

NA

NA

±2 μm

机械特征

 

 

 

 

驱动负载(无负载)

 

12

5.4

NA

转动惯量

Kg•m²

0.00401

0.00401

0.00401

最大负载

Kg

2(可定制)

 

 

平台质量

Kg

44

44

44

外观尺寸

mm×mm×mm

460×362×156.4(垂向机械下限位)

 

平台材料

 

航空铝,阳极氧化

 

 

定制信息

在PS150系列产品序列里,配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括编码器、垂向行程等选项。

表1编码器选项

-S1

增量式模拟光学式线性编码器,1Vpp,20μm Pitch

-S2

增量式数字光学式线性编码器,TTL,20μm Pitch

-S3

绝对式光学式线性编码器,BISS-C,20μm Pitch

表 2 垂直机械行程选项

-10

垂向机械行程10mm

-20

垂向机械行程20mm

-25

垂向机械行程25mm

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