晶圆生产控制应用,例如薄膜计量、关键尺寸检查等
极坐标精密位移台采用高度模块化、超薄型等设计理念,实现X、Z和T轴3自由度的高精度、高刚度直线和旋转运动。其中垂向采用了独特的大行程磁浮重力补偿技术,降低垂向电机的载荷,很大程度地提高垂向运动性能和寿命。
*接口尺寸数据来源于PS150,且垂向处于下限位。
技术指标 |
单位 |
PS150-155 |
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轴 |
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X |
Z |
T |
行程 |
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155 mm |
25 mm |
360°,Infinite |
最大速度 |
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400 mm/s |
40 mm/s |
900°/s |
加速度 |
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4m/s² |
1m/s² |
6280°/s² |
精度 |
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±1μm |
±0.4μm |
±3 arcsec |
双向重复精度 |
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±0.5μm |
±0.2μm/1mm |
±2 arcsec |
直线度 |
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6 μm |
NA |
NA |
俯仰 |
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±20μrad |
NA |
NA |
横滚 |
|
±20μrad |
NA |
NA |
偏摆 |
|
±20μrad |
NA |
NA |
轴向跳动 |
|
NA |
NA |
±2 μm |
径向跳动 |
|
NA |
NA |
±2 μm |
机械特征 |
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驱动负载(无负载) |
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12 |
5.4 |
NA |
转动惯量 |
Kg•m² |
0.00401 |
0.00401 |
0.00401 |
最大负载 |
Kg |
2(可定制) |
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平台质量 |
Kg |
44 |
44 |
44 |
外观尺寸 |
mm×mm×mm |
460×362×156.4(垂向机械下限位) |
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平台材料 |
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航空铝,阳极氧化 |
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在PS150系列产品序列里,配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括编码器、垂向行程等选项。
表1编码器选项 |
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-S1 |
增量式模拟光学式线性编码器,1Vpp,20μm Pitch |
-S2 |
增量式数字光学式线性编码器,TTL,20μm Pitch |
-S3 |
绝对式光学式线性编码器,BISS-C,20μm Pitch |
表 2 垂直机械行程选项 |
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-10 |
垂向机械行程10mm |
-20 |
垂向机械行程20mm |
-25 |
垂向机械行程25mm |