1、MFC质量流量控制器简介

MFC，即质量流量控制器，是一种能够精确测量和控制流体质量流量的精密仪器，是确保工艺过程准确性和产品一致性的关键功能单元。根据 QYResearch 最新调研报告显示，预计 2029 年全球半导体流量计市场规模将达到 5.3 亿美元，未来几年年复合增长率 CAGR 为 8.2%。就产品类型而言，目前气体流量计是最主要的细分产品，占据大约 58%的份额。

MFC在半导体工艺的各个环节中都发挥着不可或缺的作用，例如，在过程工艺（刻蚀、镀膜等）环节，用于对混合气体的各组分流量、以及装备真空度进行实时监测或调节，确保混合气体比例精确；在材料清洗环节，用于控制工艺过程中的氮气流量，确保清洁和干燥的效果；在超净间等基础设施中，用于对环境气体洁净度和风速进行长期稳定控制。为保证半导体制造过程的稳定性和产品的质量，通常要求MFC产品具有高精度、高稳定性、高可靠性、且能够快速响应。就产品应用而言，目前沉积设备是最主要的需求来源，占据大约 36.1%的份额；蚀刻设备占据大约29.4%；立式炉/卧式炉/RTP设备占据大约16%；清洗设备占据大约10.4%；离子注入设备占据大约8.03%。

近年来，日本Horiba、美国Brooks等业内龙头企业相继推出压电陶瓷式比例阀以及基于压电比例阀的半导体级MFC产品，在提高响应速度的同时大幅度降低长期使用中性能退化、发热、漏气等问题。相关研究显示，亚太区为最大的半导体流量计市场，国内一些公司在生产方面取得了不错的发展，以满足半导体行业高精度、高可靠性、快速响应的需求。

压电比例阀是MFC中的核心控制部件，与流量传感器形成闭环，实现气体流量的动态、快速调整。相较于目前国内主流的电磁比例阀，压电比例阀响应快、控制精度高，且具有极低的功耗和热噪声。

（质量流量控制器结构图）

2、为什么选择隐冠半导体

隐冠半导体压电部门专注于精密定位执行器及运动系统的研发、生产制造、销售；是国内压电领域极少数拥有从压电陶瓷材料到压电陶瓷电机再到纳米精度压电运动台全产品链研发与批量生产能力的高科技企业，公司具有丰富的产业化经验。

隐冠可提供MFC核心部件压电比例阀中压电执行器-叠堆型压电陶瓷，其具有亚毫秒的响应时间和亚纳米分辨率，以保证更快响应和更高精度的控制。隐冠自研自产的叠堆型压电陶瓷可以在较低电压下产生较大的驱动位移。同时全金属密封的压电致动器已批量供货，性能和一致性表现优异。

公司压电陶瓷已实现批量化生产，具有丰富的产品规格和种类以匹配不同的比例阀结构设计。

针对客户的个性化集成需求，公司可以定制封装尺寸、电压、行程、金属端件等，以满足机械刚度和稳定性，以保证比例阀的可靠性和长期运行效果。

同时公司针对客户特定需求和具体应用场景，集成应变片实现闭环控制。

公司在国内拥有上海、苏州、广州、成都四个服务中心，可快速响应全国客户的技术升级&更新更换、项目开发、维修维护等需求。

(最新行业技术数据来自于网站等其他公开信息来源)