• 高导热性、低膨胀系数 
• 良好的平面度
• 高刚度，更优异的耐磨性
• 轻量化设计
• 高纯度，无金属离子污染
• 可根据用户需求进行结构定制
   

• 库伦型吸盘或梯度力吸盘
• 支持双电极、多电极、叉指电极等设计
• 适用于10^-5Pa及以下超高真空环境
• 静电吸附力大
• 吸附面全局面型精度高
• 吸附面表面图形可定制
• 适用于无磁环境
• 吸附对象包括晶圆，蓝宝石、玻璃等介电材料 

• 提供大小相等、相位相反的两相电压
• 提供穿刺电压，可以对晶圆进行刺穿
• 提供电容检测，用来指示无晶圆、晶圆吸附、释放状态
• 提供穿刺检测，用来指示穿刺是否成功
• LCD显示，可以显示吸附和穿刺电压以及电阻、电容检测值

• 超高折弯寿命
• 更多线缆种类，灵活的组合方式
• 高集成度，更小的折弯半径
• 高洁净度，运动无颗粒
• 无起订量相纸

无尘护套拖链主要特性

• 千万次往复耐磨表皮
• 能达百级无尘效果，有效保护电缆，减少电缆掉粉
• 应用场景广泛
• 可定制不同POD宽度，满足客户定制化要求

• 馈通件可选CF、KF、 ISO标准法兰或定制；
• 光纤与馈通件通过胶粘剂实现密封，光纤无断点，保证 光性能最优，可选单通或多通；
• 适用单模 、 多模 、保偏光纤等多种光纤；
• 组件可选单通或多通；
• 腔内材料适用真空条件 ，光纤护套材料可选不锈钢304 、PTFE；
• 适用于10^-5Pa及以下（超）高真空环境