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多轴运动台
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HS1000复合式多轴精密位移系统
HS1000复合式多轴精密位移系统
HS1000复合式多轴精密位移系统
主要特点

  • 集成式5轴平台,正交性设计
  • 平面度、直线度达微米级
  • 机械导轨与气浮导轨的复合应用 

X/Y轴

  • 高刚度、高精度导轨设计
  • 线缆扰动力一致性设计
  • 高性能气浮导轨,确保全行程优异的动态平面度 

Z轴

  • 垂向磁悬浮重力补偿,可实现高定位精度
  • 高刚性、高精度导向设计
  • 超薄型、轻量化设计、模块化设计
  • 垂向最大可支持30mm 机械行程

T轴

  • 360°旋转,无管路缠绕
  • 支持12'、8'、6'多种规格晶圆吸附
  • 最大支持转速150rpm

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主要应用


圆划线、清洁和切割
晶晶圆激光热处理
光刻后段

性能简介

  复合式多轴精密位移台是二维机械导轨+空气轴承复合式运动平台,可以让客户有效地享用机械导轨与空气轴承导轨各自的优点。机械导轨在XY平面的高刚性能承受较大加速度和提供高双向重复精度,而空气轴承确保全行程优异的动态平面度。
  该平台采用模块化、正交性等设计理念,包含隐冠的MZT模块和复合式XY台模块。MZT模块集成在复合式XY台模块之上,能实现X、Y、Z和T 轴4自由度的高精度、高刚度直线和旋转运动。
  MZT模块的垂向采用了独特的大行程磁浮重力补偿技术,降低了垂向电机的载荷,很大程度地提高了垂向运动性能和寿命。
  复合式XY台模块采用驱动质心匹配、柔性龙门以及轻量化设计技术,具有降低对高精度机械导轨的偏质心冲击,提高运动系统的可靠性和寿命的能力,并具有对轻微平移Y1及Y2电机进行偏向修正功能。
  该平台也可集成在隐冠的主动减振系统模块之上,进一步提高系统性能。

机械尺寸图

*接口尺寸数据来源于HS1000

技术参数
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技术指标

单位

HS1000-00

 

X

Y1/Y2

Z

T

行程

 

320 mm

550 mm

10 mm

360°,Infinite

最大速度

 

1.2 m/s

1.2 m/s

0.1 m/s

900°/s

加速度

 

12 m/s²

12 m/s²

2 m/s²

6280°/s²

精度_校准前

 

±10 μm

±10 μm

NA

±30 arcsec

精度_校准后

 

±1 μm

±1 μm

±0.6 μm

±3 arcsec

双向重复精度

 

±0.4 μm

±0.4 μm

±0.3μm/2
±1μm over range

±2 arcsec

位置稳定性(3σ)

 

±25 nm*

±25 nm*

±15 nm*

±0.2 arcsec

直线度

 

±2 μm over range

±1.5μm over range

2μm

NA

轴向跳动

 

NA

NA

NA

±1.5μm

径向跳动

 

NA

NA

NA

±1.5μm

机械特征

 

 

 

 

 

驱动负载

(无负载)

 

15 Kg

30 Kg

5.5 Kg

NA

最大负载

Kg

2(可定制)

 

 

 

平台质量

Kg

666

 

 

 

外观尺寸

mm×mm×mm

1040×1050×405.3(Chuck吸附面到大理石157.8mm)

 

*测试数据来源于采用8μm pitch光栅尺的测试。

 

定制信息

在HS1000-00 产品序列里,配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括主动减振器、编码器、控制系统等选项。

表 1编码器选项

-S1

增量式模拟光学式线性编码器,1Vpp,20μm Pitch

-S2

增量式数字光学式线性编码器,TTL,20μm Pitch

-S3

绝对式光学式线性编码器,BISS,20μm Pitch

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