半导体、平板显示、光纤对准、生物医药
平面式二维精密位移台采用了XY一体化、正交性设计理念，具有超薄的轮廓尺寸，能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。
*接口尺寸数据来源于PL90
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技术指标 |
单位 |
PL90-100 |
PL90-200 |
PL90-300 |
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行程 |
mm |
±50 |
±100 |
±150 |
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最大速度 |
m/s |
500 |
750 |
1000 |
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加速度 |
g |
1 |
1 |
1 |
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精度 |
μm |
±1.5 |
±2 |
±2.5 |
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双向重复精度 |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
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直线度 |
μm |
±1 |
±1.5 |
±2 |
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平面度 |
μm |
±1 |
±1.5 |
±2 |
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俯仰 |
arcsec |
12 |
15 |
18 |
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横滚 |
arcsec |
12 |
15 |
18 |
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偏摆 |
arcsec |
6 |
8 |
10 |
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正交性 |
arcsec |
20 |
20 |
20 |
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机械特征 |
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驱动负载（无负载）_Upper axis |
Kg |
6 |
8.6 |
11.5 |
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驱动负载（无负载）_Lower axis |
Kg |
15 |
18 |
20 |
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最大负载 |
Kg |
15 |
20 |
25 |
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平台质量 |
Kg |
22 |
26 |
31 |
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外观尺寸 |
mm×mm×mm |
250×230×60 | 360×340×90 | 430×430×90 |
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平台材料 |
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航空铝，黑色阳极氧化 |
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在PL90系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器、高精度标定等选项。
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表1行程选项 |
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-100 |
100mm行程位移平台，配置直线电机和限位 |
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-200 |
200mm行程位移平台，配置直线电机和限位 |
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-300 |
300mm行程位移平台，配置直线电机和限位 |
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表2编码器选项 |
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-S1 |
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp |
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-S2 |
增量式数字光学式线性编码器，RS422 |
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-S3 |
绝对式光学式线性编码器，BISS |
