堆叠式二维精密位移台采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。
*接口尺寸数据来源于L2S125
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单位 |
L2S125-300 |
L2S125-400 |
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轴 |
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X |
Y |
X |
Y |
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行程 |
mm |
365 |
365 |
410 |
475 |
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最大速度 |
m/s |
1 |
1 |
1 |
1 |
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加速度 |
m/s² |
10 |
10 |
10 |
10 |
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精度_校准前 |
μm |
±20 |
±20 |
±20 |
±20 |
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精度_校准后 |
μm |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
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双向重复精度 |
μm |
±0.4 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.4 |
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直线度 |
μm |
±3 |
±3.5 |
±3 |
±3.5 |
|
平面度 |
μm |
±2.5 |
±5 |
±2.5 |
±5 |
|
俯仰 |
μm |
±5 |
±10 |
±5 |
±10 |
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横滚 |
μm |
±5 |
±10 |
±5 |
±10 |
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偏摆 |
μm |
±10 |
±10 |
±10 |
±10 |
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正交性 |
μm |
±15 |
±15 |
±15 |
±15 |
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位置稳定性（3σ）* |
nm |
±2 |
±2 |
±2 |
±2 |
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Move1: 10μm within±100nm* |
ms |
50 |
50 |
50 |
50 |
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Move2: 25mm within±100nm* |
ms |
140 |
140 |
140 |
140 |
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Move3: 80mm within±100nm* |
ms |
170 |
170 |
170 |
170 |
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机械性能 |
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驱动负载（无负载）_Upper axis |
Kg |
3.6 |
3.6 |
4.5 |
4.5 |
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驱动负载（无负载）_Lower axis |
Kg |
17 |
17 |
18.5 |
18.5 |
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最大负载 |
Kg |
2 |
2 |
6 |
6 |
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平台质量 |
Kg |
29.5 |
29.5 |
32 |
32 |
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外观尺寸 |
mm×mm×mm |
650×604×125 |
650×604×125 |
810×700×125 |
810×700×125 |
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平台材料 |
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航空铝，黑色阳极氧化 |
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*测试数据来源于采用8μm pitch光栅尺的测试，且运动台处于主动隔振环境下。
在L2S125系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器、导轨等选项。X轴底座可根据客户需求，改为大理石底座，可提供更高的定位精度。
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表1 行程选项 |
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-300 |
365mm×365mm行程位移平台，配置直线电机和限位 |
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-400 |
410mm×475mm行程位移平台，配置直线电机和限位 |
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表2 编码器选项 |
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-S1 |
标准款，Renishaw编码器 |
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-S2 |
高端款，Heidenhain编码器 |
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表3 导轨选项 |
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-G1 |
高刚性滚柱导轨 |
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-G2 |
高精度滚珠导轨 |
