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XY运动台
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L2S125堆叠式二维精密位移台
L2S125堆叠式二维精密位移台
L2S125堆叠式二维精密位移台
主要特点

  • 高动态响应、非接触直线电机驱动
  • 高精度的光学式线性编码器反馈
  • 高刚度、高精度导轨设计
  • 优异的定位精度和重复性表现

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主要应用

半导体、平板显示、光纤对准、生物医药

 

性能简介

堆叠式二维精密位移台采用集成式、正交性设计理念,具有紧凑扁平的轮廓尺寸,能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。

机械尺寸图

*接口尺寸数据来源于L2S125

技术参数
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技术指标

单位

L2S125-300

L2S125-400

 

X

Y

X

Y

行程

mm

365

365

410

475

最大速度

m/s

1

1

1

1

加速度

m/s²

10

10

10

10

精度_校准前

μm

±20

±20

±20

±20

精度_校准后

μm

±1

±1

±1

±1

双向重复精度

μm

±0.4

±0.4

±0.4

±0.4

直线度

μm

±3

±3.5

±3

±3.5

平面度

μm

±2.5

±5

±2.5

±5

俯仰

μm

±5

±10

±5

±10

横滚

μm

±5

±10

±5

±10

偏摆

μm

±10

±10

±10

±10

正交性

μm

±15

±15

±15

±15

位置稳定性(3σ)*

nm

±2

±2

±2

±2

Move1:10μm within±100nm*

ms

50

50

50

50

Move2:25mm within±100nm*

ms

140

140

140

140

Move3:80mm within±100nm*

ms

170

170

170

170

机械特征

 

 

 

 

 

驱动负载(无负载)_Upper axis

Kg

3.6

3.6

4.5

4.5

驱动负载(无负载)_Lower axis

Kg

17

17

18.5

18.5

最大负载

Kg

2

2

6

6

平台质量

Kg

29.5

29.5

32

32

外观尺寸

mm×mm×mm

650×604×125

650×604×125

810×700×125

810×700×125

平台材料

 

航空铝,黑色阳极氧化

 

 

*测试数据来源于采用8μm pitch光栅尺的测试,且运动台处于主动隔振环境下。

定制信息

在L2S125系列产品序列里,配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器、导轨等选项。 X轴底座可根据客户需求,改为大理石底座,可提供更高的定位精度。

表1行程选项

-300

365mmX365mm行程位移平台,配置直线电机和限位

-400

410mmX475mm行程位移平台,配置直线电机和限位

表2编码器选项

-S1

标准款,Renishaw编码器

-S2

高端款,Heidenhain编码器

表3导轨选项

-Gl

高刚性滚柱导轨

-G2

高精度滚珠导轨

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