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XY运动台
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PLA90中空式平面二维精密位移台
PLA90中空式平面二维精密位移台
PLA90中空式平面二维精密位移台
主要特点

  • 高动态响应、非接触直线电机驱动
  • 高精度的光学式线性编码器反馈
  • 高刚度防蠕变交叉滚柱导轨设计
  • 优异的定位精度和动态性能
  • 大中空尺寸设计

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主要应用

半导体、平板显示、光纤对准、生物医药等,特别适用于双面加工或者基因检测等领域

 

性能简介

中空式平面二维精密位移台采用了XY一体化、正交性设计思想,具有超薄的轮廓尺寸和大中空的通孔尺寸,能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。

机械尺寸图

 *接口尺寸数据来源于PLA90

技术参数
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技术指标

单位

PLA90-100

PLA90-200

PLA90-300

行程

mm

±50

±100

±150

最大速度

m/s

1

1

1

加速度

g

1

1

1

精度

μm

±0.5

±0.5

±0.5

双向重复精度

μm

±0.25

±0.25

±0.25

直线度

μm

±2

±2

±2

平面度

μm

±2

±2

±2

俯仰

 

40µrad
(8.2arcsec)

50µrad
(10.3arcsec)

60µrad
(12.4arcsec)

横滚

 

30µrad
(6.2arcsec)

40µrad
(8.2arcsec)

50µrad
(10.3arcsec)

偏摆

 

20µrad
(4.1arcsec)

30µrad
(6.2arcsec)

40µrad
(8.2arcsec)

正交性

 

97µrad
(20arcsec)

97µrad
(20arcsec)

97µrad
(20arcsec)

机械特征

 

 

 

 

驱动质量_Upper axis

Kg

5.8

8.4

11

驱动质量_Lower axis

Kg

14.5

17.1

19.7

最大负载

Kg

15

20

25

平台质量

Kg

21

25.5

30

外观尺寸

mm×mm×mm

380×380×90 380×380×90 430×430×90

平台材料

 

航空铝,黑色阳极氧化

 

 

定制信息

在PLA90系列产品序列里,配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器、高精度标定等选项。

表1行程选项

-100

100mm行程位移平台,配置直线电机和限位

-200

200mm行程位移平台,配置直线电机和限位

-300

300mm行程位移平台,配置直线电机和限位

表2编码器选项

-S1

增量式模拟光学式线性编码器,1Vpp

-S2

增量式数字光学式线性编码器,RS422

-S3

绝对式光学式线性编码器,BISS

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