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单片型多层共烧压电致动器
PAS系列 剪切型压电陶瓷叠堆
PAS系列 剪切型压电陶瓷叠堆
PAS系列 剪切型压电陶瓷叠堆
主要特点

  • 高使用寿命
  • 亚纳米分辨率
  • 驱动电压 -250~+250V
  • 陶瓷封装保证绝缘性能
  • 适用于高真空环境(10 Pa)
  • 高居里温度 230°

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主要应用
  • 科学研究
  • 工业自动化
  • 精密运动控制
  • 精密光学调节设备
  • 半导体设备
  • 精密检测设备
性能简介

剪切型压电陶瓷叠堆是由多片压电陶瓷剪切片粘接而成的叠堆器件,通过叠加多片剪切片的剪切位移来获得更大的整体位移。剪切叠堆可以产生一维至三维 XYZ 方向的位移,单轴方向最大位移可以达到 13μm,可独立控制每层陶瓷的驱动电压。

机械尺寸图

技术参数
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参数名称

数值

单位

公差

运动轴

X/Y

-

-

驱动电压

-250~250

V

-

最大位移(+250~-250)

13

μm

±15%

长度方向谐振频率

190

kHz

±20%

长度方向反谐振频率

235

kHz

±20%

厚度方向谐振频率

580

kHz

±20%

厚度方向反谐振频率

615

kHz

±20%

电容

23

nF

±15%

工作温度范围

-25~130

-

端面电极材质

-

-

电缆长度

75

mm

±5mm

居里温度

280

-

外形尺寸 L1

10

mm

±0.1mm

外形尺寸 L2

7.8

mm

±0.1mm

外形尺寸 L3

4.35

mm

±0.1mm

定制信息

驱动电压:可满足不同位移需求,提供标准电压 100V、150V 和 250V 等常见电压。

输出位移:与叠堆高度有关,根据应用场景,可提供最大达 20μm 的剪切位移。

工作频率:高频驱动可能导致器件损坏 / 发热,最大驱动频率为 20kHz。

外形尺寸:长度和宽度方向可选 4mm、6mm、8mm、10mm 等尺寸,高度方向最高可选 15mm。

焊接线束:满足 AWG 使用标准的情况下可选配,在性能误差范围内可选择焊点位置。

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