平面式精密气浮XY位移台，具有超薄的轮廓尺寸，实现高精度、高刚度水平直线运动。
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技术指标 |
AXY110 |
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运动轴 |
X,Y |
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行程 |
160mm（上轴）；180mm（下轴） |
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最大速度（空载） |
上轴：0.7m/s 下轴：0.8m/s |
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加速度（空载） |
上轴：0.7g 下轴：2g |
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传感器分辨率 |
5nm |
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双向重复定位精度 |
±0.1µm（上轴）；±0.1µm（下轴） |
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精度（校准后） |
±0.2µm（上轴）；±0.2µm（下轴） |
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直线度 |
±0.5µm（上轴）；±0.5m（下轴） |
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平面度 |
±0.5µm（上轴）；±0.5µm（下轴） |
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俯仰 |
25µrad（上轴）；25µrad（下轴） |
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偏摆 |
10µrad（上轴）；10µrad（下轴） |
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最大负载 |
4.5kg |
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峰值推力 |
85N |
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持续推力 |
39N |
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动子质量 |
上轴:2.8kg 下轴:10kg |
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总质量 |
28.5kg |
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外观尺寸 |
559mmX459mmX109mm |
