干货丨混合键合(Hybrid Bonding)工艺流程和相关技术总结
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2024-10-30
混合键合是一种先进的封装技术,有助于集成多个半导体元件以创建高密度、高性能的设备。与传统封装方法相比,混合键合可实现更高的互连密度该工艺对于 3D 集成和异构片上系统 (SoC) 应用。 目前设备产业链中的主要参与者以及使用和涉及混合键合的主要有,如台积电、英特尔、三星、SK海力士、美光、长鑫存储、索尼、豪威科技、长江存储、西部数据、Besi、芝浦东京电子、应用材料、ASM Pacific、EV Group、SU...