晶圆检查、高精度计量、X射线衍射系统、光学检查和制造以及MEMS /纳米技术设备制造
精密气浮转台以超薄的外形提供了出色的角度定位、速度稳定性和误差运动性能。
*接口尺寸数据来源于ARD120
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技术指标 |
单位 |
ARD120-00 |
ARD180-00 |
ARD220-00 |
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精度 |
arcsec |
±2 |
±2 |
±2 |
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双向重复精度 |
arcsec |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
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轴向跳动 |
nm |
<180 |
<100 |
<100 |
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径向跳动 |
nm |
<450 |
<250 |
<250 |
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倾斜误差 |
arcsec |
<1 |
<0.7 |
<0.7 |
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连续扭矩 |
N·m |
0.48 |
2.36 |
5.99 |
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最大转速 |
rpm |
1000 |
1000 |
1000 |
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机械特征 |
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外观尺寸 |
mm |
120 |
180 |
220 |
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中空尺寸 |
mm |
10 |
30 |
50 |
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最大负载_轴向 |
Kg |
8 |
30 |
66 |
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最大负载_径向 |
Kg |
4 |
15 |
36 |
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工作气压_轴向 |
bar |
5±0.5 |
5±0.5 |
5±0.5 |
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工作气压_径向 |
bar |
6±0.5 |
6±0.5 |
6±0.5 |
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总质量 |
Kg |
4.5 |
6.1 |
8.3 |
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平台材料 |
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航空铝，黑色阳极氧化/硬质阳极氧化 |
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在ARD120系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括尺寸、编码器等选项。
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表1尺寸选项 |
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-120 |
120,Diameter |
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-180 |
180,Diameter |
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-220 |
220,Diameter |
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表2编码器选项 |
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-S1 |
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp |
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-S2 |
增量式数字光学式线性编码器，RS422 |
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-S3 |
绝对式光学式线性编码器，BISS |
