上海隐冠半导体技术有限公司

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压电惯性电机
惯性电机
惯性电机
惯性电机
主要特点

  • 高速位移
  • 高分辨率
  • 体积小巧
  • 应用高真空环境

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主要应用
  • 光学平台
  • 精密半导体设备
  • 精密医疗检测设备
性能简介

PMIN系列惯性电机是基于粘滑式驱动逻辑的一种直线运动定位装置,可以达到毫米级的运动行程和纳米级的定位精度,具有体积小、刚度高和快速定位等优势,电机内部集成高精度闭环传感器,非常适合用于纳米微位移控制系统。

机械尺寸图

技术参数
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参数

PMIN-C24X-20A

PMIN-C24X-30A

PMIN-C24X-50A

PMIN-C24X-110A

单位

运动轴

x

x

x

x

-

运动行程

20

30

50

110

mm

传感器

线性光栅尺

线性光栅尺

线性光栅尺

线性光栅尺

-

开环分辨率

1

1

1

1

nm

传感器分辨率

40

40

40

40

nm

传感器信号

AqB(细分盒输出)

AqB(细分盒输出)

AqB(细分盒输出)

AqB(细分盒输出)

-

最小位移量

500

500

500

500

nm(典型值)

单向重复性

-

-

500

500

nm(典型值)

双向重复性

800

1000

800

800

nm(典型值)

俯仰角

50

50

50

50

arcsec(典型值)

偏摆角

50

50

50

50

arcsec(典型值)

闭环运动速度(最大值)

10

10

10

10

mm/s

最大垂向负载

30

30

30

30

N(负载质心处于电机中心位置时的最大值)

导轨类型

交叉滚柱导轨

交叉滚柱导轨

交叉滚柱导轨

交叉滚柱导轨

-

电机类型

粘滑式惯性电机

粘滑式惯性电机

粘滑式惯性电机

粘滑式惯性电机

-

驱动力(典型值)

1.5

1.5

1.5

1.0

N

保持力(最小值)

2.0

2.0

2.0

1.5

N

工作电压

0 - 70

0 - 70

0 - 70

0 - 70

V

工作温度范围

0 - 50

0 - 50

0 - 50

0 - 50

°C

驱动频率范围

2k - 15k(推荐 5k - 7kHz)

2k - 15k(推荐 5k - 7kHz)

2k - 15k(推荐 5k - 7kHz)

2k - 15k(推荐 5k - 7kHz)

kHz

材料

铝合金 / 不锈钢(可选型)

铝合金 / 不锈钢(可选型)

铝合金 / 不锈钢(底座默认不锈钢)

铝合金 / 不锈钢(底座默认不锈钢)

-

电缆长度

2(±0.02)

2(±0.02)

2(±0.02)

2(±0.02)

m

电机接口

Sub - D15 公头

Sub - D15 公头

Sub - D15 公头

Sub - D15 公头

-

 

*PMIN-C24X-20A/ PMIN-C24X-30A/ PMIN-C24X-50A 型号默认为不锈钢底座,
如有轻量化需求可更换铝合金版本-AL
-AL:铝合金底座
* 实际运动速度取决于驱控电路功率
* 最大垂向负载:30N 条件为负载质心处于电机中心位置
所有规格参数基于室温(22±3℃)环境。
使用注意事项:
1. 须在洁净的室内环境中使用该电机;
2. 须配套使用隐冠公司提供的驱控器。

 

定制信息

引脚定义说明
DB15 引脚定义如下:

 

引脚编号

定义

1

Sin+

2

Sin-

3

Cos+

4

Cos-

5

Index+

6

Index-

7

HV-

8

 

9

GND

10

Vs

11

GND

12

Vs

13

 

14

 

15

HV+

 

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