上海隐冠半导体技术有限公司

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叠堆型压电陶瓷
叠堆型压电陶瓷致动器
叠堆型压电陶瓷致动器
叠堆型压电陶瓷致动器
主要特点

  • 驱动电压 -20 ~ +150V
  • 2 ~ 100μm运动行程    
  • 适用于高真空环境10⁻⁶ Pa
  • 亚纳米分辨率    
  • 高居里温度230°C

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主要应用
  • 科学研究 
  • 精密光学调节设备 
  • 工业自动化 
  • 半导体设备 
  • 精密运动控制     
  • 精密检测设备
性能简介

叠堆型压电陶瓷致动器采用压电陶瓷片堆叠的结构形式,在电信号激励下实现多层陶瓷响应位移的叠加输出,具有亚毫秒级的响应时间,最大位移超过100μm。公司具有丰富的产品规格,且性能参数能达到国际同类产品公司先进水平,目前已实现批量化生产。

技术参数
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单位

公差

PAB-S3-5

PAB-S3-9

PAB-S5-5

PAB-S5-9

PAB-S5-20

PAB-S5-36

PAB-S5-45

PAB-S7-9

尺寸

mm×mm×mm

 

3×3×5

3×3×9

5×5×5

5×5×9

5×5×20

5×5×36

5×5×45

7×7×9

位移*

μm

±15%

5

10

5

10

20

40

50

10

阻滞力**

N

最大值

360

360

1000

1000

1000

1000

1000

2000

电容***

μF

±15%

0.14

0.25

0.35

0.68

1.6

2.8

3.8

1.5

谐振频率

kHz

±15%

250

140

250

140

70

34

27

140

 

 

单位

公差

PAB-S7-20

PAB-S7-36

PAB-S7M-36

PAB-S7-45

PAB-S7-60

PAB-S7-90

PAB-S10-18

PAB-S10-36

尺寸

mm×mm×mm

 

7×7×20

7×7×36

7×7×36

7×7×45

7×7×60

7×7×90

10×10×18

10×10×36

位移*

μm

±15%

20

40

42

50

66

100

20

40

阻滞力**

N

最大值

2000

2000

2000

2000

2000

2000

4000

4000

电容***

μF

±15%

3

6

10

7.8

11.2

16

6

13

谐振频率

kHz

±15%

70

34

35

27

21

14

70

34

截面尺寸公差为±0.1mm,长度尺寸常规公差在±0.1mm,特别需求可以定制±10μm
位移尺寸公差范围在±20%
可选配焊接标准线束,长度75mm,AWG32,PTFE绝缘,产品编号后加W


* 位移测试:驱动电压0~150V,公差±20%,另PAB-S7M-36驱动电压0~120V
** 阻滞力测试:在150v驱动电压下,将陶瓷伸长量压缩为零的力
*** 电容测试条件:常温环境,1Vpp,1kHz,公差±20%
其他规格可根据客户需求进行定制

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