上海隐冠半导体技术有限公司

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叠堆型压电陶瓷
单片圆形压电陶瓷致动器
单片圆形压电陶瓷致动器
单片圆形压电陶瓷致动器
主要特点

  • 交流寿命10⁹次
  • 结构紧凑
  • 微秒级响应    
  • 适用于高真空环境10⁻⁶ Pa
  • 亚纳米分辨率    
  • 高居里温度230°C
  • 驱动电压 -20 ~ +150V

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主要应用
  • 工业自动化    
  • 生命科学
  • 科学研究    
  • 微喷射
  • 激光调谐
性能简介

单片型压电陶瓷致动器内部有很多陶瓷层及电极层,相互交叉叠堆,外部两侧印刷电极,将内部电极引出。通过精密打磨工艺,使每片压电陶瓷的高度公差优于±5μm。公司实现了从压电陶瓷粉料到致动器成品的全流通贯通,已实行批量化生产。目前产品已经在纳米级定位、精密制造、点胶阀领域中应用。

机械尺寸图

通用外形尺寸,单位:mm

技术参数
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单位

公差

PAA-D5-2W

PAA-D8-2W

运动轴

   

Z

Z

最大位移

μm

±15%

2.5

3.3

迟滞

   

<15%

<15%

负载

N

最大值

310

720

阻滞力(150V)

N

最大值

780

1800

电气性能

驱动电压

V

 

-20~150

-20~150

谐振频率

kHz

最大值

360

220

谐振阻抗

mΩ

±15%

150

100

反谐振频率

kHz

最大值

470

300

介电损耗

   

<2.0%

<2.0%

电容

nF

±15%

150

800

其他

工作温度范围

°C

 

-25~130

-25~130

电极

   

电缆长度

mm

±5mm

75

75

居里温度

°C

 

230

230

外观尺寸

Ø

mm

±0.1mm

5

8

L

mm

±5μm

2

2

MTTF

year

 

26.3

11.58

 

* 位移测试:驱动电压0~150V,公差±20%
** 阻滞力测试:在150v驱动电压下,将陶瓷伸长量压缩为零的力
*** 电容测试条件:常温环境,1Vpp,1kHz,公差±20%;
**** MTTF测试条件:300V、85%湿度、85℃环境
可选配焊接标准线束,长度75mm,AWG32,PTFE绝缘,产品编号后加W
其他规格可根据客户需求进行定制

 

定制信息

单片圆形压电陶瓷致动器

型号

说明

PAA-D5-2

圆形压电陶瓷片,直径5mm,有效行程2.5μm,无线束

PAA-D5-2W

圆形压电陶瓷片,直径5mm,有效行程2.5μm,标准线束

PAA-D8-2

圆形压电陶瓷片,直径8mm,有效行程3.3μm,无线束

PAA-D8-2W

圆形压电陶瓷片,直径8mm,有效行程3.3μm,标准线束

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