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叠堆型压电陶瓷
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方形带孔压电陶瓷致动器
方形带孔压电陶瓷致动器
方形带孔压电陶瓷致动器
主要特点

  • 交流寿命109
  • 结构紧凑
  • 微秒级响应
  • 适用于高真空环境10-6Pa
  • 亚纳米分辨率
  • 高居里温度230°C
  • 驱动电压 -20~+150V

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主要应用
  • 激光调谐
  • 微喷射
  • 生命科学
性能简介

单片型压电陶瓷致动器内部有很多陶瓷层及电极层,相互交叉叠堆,外部两侧印刷电极,将内部电极引出。通过精密打磨工艺,使每片压电陶瓷的高度公差优于±5μm。公司实现了从压电陶瓷粉料到致动器成品的全流通贯通,已实行批量化生产。目前产品已经在纳米级定位、精密制造、点胶阀领域中应用。

机械尺寸图

技术参数
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单位

公差

PAA-S73-2W

运动轴

 

 

Z

最大位移

μm

±15%

3.0

迟滞

 

 

<15%

负载

N

最大值/Max. value

720

阻滞力(150V)

N

最大值/Max. value

1800

电气性能

 

 

 

驱动电压

V

 

-20~150

谐振频率

kHz

±15%

177

谐振阻抗

mΩ

±15%

200

反谐振频率

kHz

±15%

195

介电损耗

 

 

<2.0%

电容

nF

±15%

520

其他

 

 

 

工作温度范围

°C

 

-25~130

电极

 

 

银/Silver

电缆长度

mm

±5mm

75

居里温度

°C

 

230

外观尺寸

 

 

 

Φ

mm

±0.1mm

3

A

mm

±0.1mm

7

B

mm

±0.1mm

7

L

mm

±0.1mm

2

 

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