静电吸盘(ESC)是半导体工艺中的硅片夹持工具。ESC以静电吸附为基本原理在施加外部高压后,通过静电吸盘对硅片的库仑吸附力或J-R吸附力来固定硅片的。
通用外形尺寸，单位:mm
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单位 |
6inch ESC |
8inch ESC |
12inch ESC |
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原理类型 |
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库伦型或梯度力 | 库伦型或梯度力 | 库伦型或梯度力 |
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电极数量 |
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双电极 |
双电极 |
双电极 |
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精度 |
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全局平面度 |
μm |
＜1 |
＜1 |
＜2 |
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平行度 |
μm |
＜5 |
＜5 |
＜5 |
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电气性能 |
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标准吸附电压 |
V |
1000 |
1000 |
1000 |
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漏电流 |
nA |
＜5 |
＜5 |
＜5 |
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性能参数 |
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吸附力 |
N |
≥10（库伦型） |
≥16（库伦型） |
≥40（库伦型） |
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外观尺寸 |
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直径 |
mm |
144 |
194 |
294 |
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厚度 |
mm |
12.6 |
12.6 |
12.6 |
*电极数量、平面度指标、外形尺寸和相关结构均可定制化设计
