主要应用
- 晶圆量测：EBI，CD-SEM，Review-SEM
- 薄膜沉积（CVD、PVD等）
- 晶圆制造
性能简介
静电吸盘（ESC）是半导体工艺中硅片等衬底的夹持工具。ESC以静电吸附为基本原理在施加外部高压后，通过静电吸盘产生的库仑力或者梯度力来固定硅片等衬底的。
机械尺寸图
通用外形尺寸，单位:mm
技术参数
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6inch ESC |
8inch ESC |
12inch ESC |
单位 |
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原理类型 |
库伦型或梯度力 |
库伦型或梯度力 |
库伦型或梯度力 |
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电极类型 |
双电极或叉指电极 |
双电极或叉指电极 |
双电极或叉指电极 |
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精度 |
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全局平面度 |
＜2 |
＜2 |
＜5 |
μm |
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平行度 |
＜30 |
＜30 |
＜30 |
μm |
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电气性能 |
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标准吸附电压 |
1000 |
1000 |
1000 |
V |
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漏电流 |
＜5 |
＜5 |
＜5 |
nA |
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性能参数 |
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吸附力 |
≥8（库伦型） |
≥12（库伦型） |
≥30（库伦型） |
N |
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外观尺寸 |
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直径 |
144 |
194 |
294 |
mm |
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厚度 |
12.6 |
12.6 |
12.6 |
mm |
*电极数量、平面度指标、外形尺寸和相关结构均可定制化设计
