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压电纳米定位台
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PMNL-A02 微步位移台
PMNL-A02 微步位移台
PMNL-A02 微步位移台
主要特点

  • 高驱动力
  • 纳米精度
  • 高静态保持力
  • 大行程范围
  • 高分辨率
  • 应用高真空环境
  • 应用无磁环境

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主要应用
  • 光刻机镜头精密调节
  • 精密半导体设备
  • 精密电子显微镜调节
  • 精密医学检测设备
  • 无磁环境
  • 真空无发热环境
性能简介

压电微步运动台是基于陶瓷微步电机的运动平台,通过陶瓷电机的步进式驱动方式实现对运动轴台面的直线驱动。微步运动台体积小、驱动力大;在静止状态下可以保持高保持力,无热功耗,无磁泄露;具有毫米级大运动行程和纳米级高分辨率。

机械尺寸图

技术参数
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单位

公差

PMNL-A02-20

运动轴

 

 

X

运动和定位

 

 

 

运动行程

mm

 

20

模拟量模式下行程

μm

 

±2

传感器

 

 

-

开环分辨率

nm

 

1

闭环分辨率

nm

 

-

速度

mm/s

最大值/Max. value

0.6

最大驱动频率

Hz

±20%

150

机械特性

 

 

 

驱动力

N

最大值/Max. value

20

保持力

N

最小值/Min. value

30

驱动特性

 

 

 

工作电压

V

 

-250~+250

其他

 

 

 

工作温度范围

°C

 

0~55

材料

 

 

不锈钢,钛合金/Stainless steel, titanium alloy

质量

g

±5%

255

电缆长度

m

±0.05m

2

电机接口

 

 

Sub-D15 公头/Sub-D15 male connector

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