平面式精密堆叠位移台，具有超薄的轮廓尺寸，满足单轴、多轴使用情况，实现高精度、高刚度水平直线运动。
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技术指标 |
MTS80-25 |
MTS80-50 |
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行程 |
±25mm |
±50mm |
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最大速度（空载） |
0.5m/s |
0.5m/s |
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加速度（空载） |
0.5g |
0.5g |
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双向重复定位精度 |
±0.3µm |
±0.3µm |
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精度（校准后） |
±0.5µm |
±0.5µm |
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直线度 |
±1µm |
±1µm |
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平面度 |
±1µm |
±1µm |
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俯仰 |
75µrad |
75µrad |
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偏摆 |
50µrad |
50µrad |
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最大负载 |
4kg |
6kg |
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峰值推力 |
23.8N |
35.7N |
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持续推力 |
6.0N |
8.9N |
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动子质量 |
0.71kg |
1.08kg |
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总质量 |
1.49kg |
2.35kg |
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外观尺寸 |
140mmX95mmX33mm |
210mmX95mmX33mm |
