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叠堆型压电陶瓷致动器
PAB 系列方形压电陶瓷叠堆致动器
PAB 系列方形压电陶瓷叠堆致动器
PAB 系列方形压电陶瓷叠堆致动器
主要特点

  • 驱动电压 -20~+150V
  • 运动行程 12~100μm
  • 适用于高真空环境 10Pa
  • 亚纳米分辨率
  • 高居里温度 230℃

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主要应用
  • 科学研究
  • 精密光学调节设备
  • 工业自动化
  • 半导体设备
  • 精密运动控制
  • 精密检测设备
性能简介

叠堆型压电陶瓷致动器采用压电陶瓷片堆叠的结构形式,在电信号激励下实现多层陶瓷响应位移的叠加输出,具有亚毫秒级的响应时间,最大位移超过 180μm。

机械尺寸图

闭环版本机械尺寸图
 

 

技术参数
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型号

尺寸(A×B×H,mm)

位移(μm)

刚度(N/μm)

阻滞力(N)

电容(nF)

谐振频率(kHz)

PAB-S3-5

3×3×5

5

64

350

120

250

PAB-S3-9

3×3×9

9

38

350

250

150

PAB-S5-5

5×5×5

5

187

1000

350

250

PAB-S5-9

5×5×9

10

104

1000

680

140

PAB-S5-18

5×5×18

20

52

1000

1300

70

PAB-S5-20

5×5×20

20

43

1000

1600

60

PAB-S5-36

5×5×36

40

26

1000

2800

35

PAB-S5-45

5×5×45

50

21

1000

3800

27

PAB-S5-60

5×5×60

68

16

1000

5000

21

PAB-S5-72

5×5×72

80

13

1000

6000

17

PAB-S7-9

7×7×9

10

191

1960

1500

140

PAB-S7-18

7×7×18

20

86

1960

2700

70

PAB-S7-20

7×7×20

20

57

1960

3000

70

PAB-S7-36

7×7×36

40

48

1960

6000

34

PAB-S7M-36

7×7×36

40

48

1960

9500

35

PAB-S7-45

7×7×45

50

38

1960

9000

27

PAB-S7-54

7×7×54

60

32

1960

9500

23

PAB-S7-60

7×7×60

66

29

1960

11000

21

PAB-S7-72

7×7×72

75

24

1960

12000

18

PAB-S7-90

7×7×90

100

19

1960

16000

14

PAB-S10-18

10×10×18

20

185

3900

6000

70

PAB-S10-30

10×10×30

33

105

3900

10000

41

PAB-S10-36

10×10×36

40

85

3900

13000

34

 截面尺寸公差为士0.1mm,长度尺寸常规公差在士0.1mm,特别需求可以定制士10pm 
可选配焊接标准线束,长度75mm,AWG32,PTFE绝缘,产品编号后加W 
*位移测试:驱动电压0~150V,公差土15%,另PAB-S7M-36驱动电压0-120V 
**阻滞力测试:在150v驱动电压下,将陶瓷伸长量压缩为零的力 
***电容测试条件:常温环境,1Vpp.1kHz,公差土15% 其他规格可根据客户需求进行定制

闭环版本参数

 

型号

PAB-S5-36W-S

PAB-S7-36W-S

PAB-S10-36W-S

单位

公差

运动轴

Z

Z

Z

-

-

驱动电压

-20~150

-20~150

-20~150

V

-

最大位移

40

40

40

μm

±15%

推力

1000

1960

3900

N

最大值

电容值

2.8

6

13

μF

±15%

谐振频率

34

34

34

kHz

±15%

应变片电阻

350

350

350

Ω

±3Ω

居里温度

230

230

230

-

表面电极

-

-

外观尺寸 A

5

7

10

mm

±0.1mm

外观尺寸 B

5

7

10

mm

±0.1mm

外观尺寸 H

36

36

36

mm

±0.1mm

*位移测试:驱动电压0~-150V、公差土15%;
 **推力测试:驱动电压0~150V; 
***电容测试条件:常温环境,1Vpp,1kHz,公差士15% 

定制信息

驱动电压:常见可选 50V、75V、100V、120V、150V,特殊电压可按需定制。

输出位移:最大位移行程可选 200μm。

工作频率:最高驱动频率 30kHz,可按需设计。

外形尺寸:长宽最小 3mm、最大 10mm;高度最小 9mm、最大 180mm 可定制。

焊接线束:满足 AWG 标准时可选配,线束长度、朝向及焊点位置可定制。

闭环版本定制信息

截面尺寸公差为±0.1mm,长度尺寸常规公差在±0.1mm;特别需求可以定制±10um;位移尺寸公 差范围在±15%。

尺寸公差:截面尺寸公差 ±0.1mm,长度尺寸常规 ±0.1mm,特殊 ±10μm;位移尺寸公差 ±15%。

焊接线束:满足 AWG 标准时可选配,焊点位置可定制。

形状尺寸:长宽有 5×5mm、7×7mm、10×10mm 可选,高度尺寸≥18mm ,其他需求可定制。

 


 

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