PANL 系列微步电机模组 - 剪切叠堆/微步电机模维

主要应用

半导体设备
精密光学调节设备
精密运动控制
科学研究
工业自动化
精密检测设备

性能简介

微步电机陶瓷模组由多层压电陶瓷层（通过机械方式串联）以交错电极（电极间相互平行）的方式组成，其中包括了一定数量的压电陶瓷厚度片与压电陶瓷剪切片，能够在两轴输出位移。其通过厚度片抬高、剪切片前进，类似尺蠖昆虫的爬行方式来实现长行程。

机械尺寸图

技术参数

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参数	PANL-R001-14-16H4Q	PANL-S06-22-5H7Q	PANL-S06-22-7H5Q	PANL-S06-22-12Q
运动轴	Z/X	Z/X	Z/X	Z/X
元件高度一致性	≤0.03mm	≤0.03mm	≤0.03mm	≤0.03mm
元件上顶面共面平面度	≤5μm	≤5μm	≤5μm	≤5μm
元件下底面平面度	≤5μm	≤5μm	≤5μm	≤5μm
元件上顶面与下底面平行度	≤10μm	≤10μm	≤10μm	≤10μm
剪切压电陶瓷驱动电压	-250V - 250V	-250V~+250V	-250V~+250V	-250V~+250V
纵向压电陶瓷驱动电压	-250V - 250V	-250V~+250V	-250V~+250V	/
剪切压电陶瓷位移（Y 向位移）	≥±2μm@±250V	≥±7μm@±250V	≥±5μm@±250V	≥±12μm@±250V
纵向压电陶瓷位移（Z 向位移）	≥3μm@500Vp-p(±250V)	≥0.9μm@500Vp-p(±250V)	≥1.5μm@500Vp-p(±250V)	/
剪切压电陶瓷最大输出力	≥±100N@±250V	≥±50N@±250V	≥±50N@±250V	≥±50N@±250V
纵向压电陶瓷最大输出力	≥2000N@+250V	≥700N@+250V	≥1000N@+250V	/
单个压电陶瓷腿纵向机械刚度	≥500N/μm	≥250N/μm	≥250N/μm	≥250N/μm
剪切压电陶瓷电容	≤40nF±15%@1Vp-p&1kHz ≤45nF±15%@1Vp-p&1kHz	≤30nF±15%@1Vp-p&1kHz	≤90nF±15%@1Vp-p&1kHz
纵向压电陶瓷电容	≤150nF±15%@1Vp-p&1kHz	≤40nF±15%@1Vp-p&1kHz	≤60nF±15%@1Vp-p&1kHz	/
剪切压电陶瓷迟滞非线性 @500Vp-p	≤40%	≤40%	≤40%	≤40%
工作温度	-25°C - 130°C	-25°C - 130°C	-25°C - 130°C	-25°C - 130°C
居里温度	280°C	280°C	280°C	280°C
外形尺寸 L	33mm±0.1mm	13mm±0.1mm	13mm±0.1mm	13mm±0.1mm
外形尺寸 W	10mm±0.1mm	13mm±0.1mm	13mm±0.1mm	13mm±0.1mm
外形尺寸 H	15mm±0.005mm	8.7mm±0.005mm	8.7mm±0.005mm	8.7mm±0.005mm

*位移测试：驱动电压 -250~250V、公差 ±15%；
** 外形尺寸：标注尺寸为单侧陶瓷模组尺寸，不包括线路板；
*** 电容测试条件：常温环境，1Vpp，1kHz，公差 ±15%。

定制信息

驱动电压：常见最大驱动电压可选范围 50 - 250V，特殊电压可按需定制。

位移定制：输出位移取决于器件尺寸，提供多种剪切和厚度位移组合，位移行程可选。

工作频率：可按需设计，单片致动器最高驱动频率可达 50kHz。

外形定制：模组长、宽、高可按需定制。

连接方式：满足 AWG 标准下，可选配线束或柔性线路板，线束长度、朝向及线路板设计可定制。