预压致动器是一种压电陶瓷叠堆的铠装设备,起到保护叠堆和方便安装的作用,同时预压致动器内部对压电陶瓷施加了预压力,可提供一定的拉力和对位移输出的调节。预压致动器可内部集成应变片实现闭环控制。
默认输出端为球头,可定制其他输出端结构。
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单位 |
公差 |
PAPL-C7-18N |
PAPL-C7-36N |
PAPL-C7-54N |
PAPL-C7-72N |
PAPL-C7-90N |
PAPL-C7-108N |
PAPL-C7-180N |
行程@150V* |
μm |
±20% |
18 |
36 |
54 |
72 |
90 |
108 |
180 |
电容** |
μF |
±20% |
3 |
6 |
9 |
12 |
15 |
18 |
30 |
开环分辨率 |
nm |
典型值 |
0.18 |
0.36 |
0.54 |
0.72 |
0.9 |
1.08 |
1.8 |
集成传感器*** |
|
|
SGS |
SGS |
SGS |
SGS |
SGS |
SGS |
SGS |
闭环分辨率*** |
nm |
典型值 |
0.36 |
0.72 |
1.08 |
1.44 |
1.8 |
2.16 |
3.6 |
谐振频率 |
kHz |
±20% |
22 |
17.5 |
15 |
13 |
11 |
10 |
4.5 |
刚度 |
N/μm |
±20% |
225 |
107 |
75 |
57 |
44 |
38 |
10 |
推力**** |
N |
最大值 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
拉力 |
N |
最大值 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
工作电压 |
V |
|
-20~150 |
-20~150 |
-20~150 |
-20~150 |
-20~150 |
-20~150 |
-20~150 |
工作温度范围 |
°C |
|
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
电压接口 |
LEMO FFA.00.250 |
||||||||
传感器接口 |
LEMO FFA.0S.304 |
||||||||
线长 |
m |
±0.02m |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
* 空载下位移输出 |
** 电容测试条件:常温环境,1Vpp,1kHz |
*** 闭环参数只适用闭环版本的压电预压致动器 |
**** 推力测试:驱动电压0~150V |
其他规格可根据客户需求进行定制 |
PAPL系列C7型压电预压致动器,开环版本 |
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型号 |
说明 |
PAPL-C7-18N |
C7型压电预压致动器,有效行程18μm,开环 |
PAPL-C7-36N |
C7型压电预压致动器,有效行程36μm,开环 |
PAPL-C7-54N |
C7型压电预压致动器,有效行程54μm,开环 |
PAPL-C7-60N |
C7型压电预压致动器,有效行程60μm,开环 |
PAPL-C7-90N |
C7型压电预压致动器,有效行程90μm,开环 |
PAPL-C7-108N |
C7型压电预压致动器,有效行程108μm,开环 |
PAPL-C7-180N |
C7型压电预压致动器,有效行程180μm,开环 |
PAPL系列C7型压电预压致动器,应变片闭环版本 |
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型号 |
说明 |
PAPL-C7-18S |
C7型压电预压致动器,有效行程18μm,应变片闭环 |
PAPL-C7-36S |
C7型压电预压致动器,有效行程36μm,应变片闭环 |
PAPL-C7-54S |
C7型压电预压致动器,有效行程54μm,应变片闭环 |
PAPL-C7-60S |
C7型压电预压致动器,有效行程60μm,应变片闭环 |
PAPL-C7-90S |
C7型压电预压致动器,有效行程90μm,应变片闭环 |
PAPL-C7-108S |
C7型压电预压致动器,有效行程108μm,应变片闭环 |
PAPL-C7-180S |
C7型压电预压致动器,有效行程180μm,应变片闭环 |
PAPL系列C7型压电预压致动器,开环、真空兼容版本 |
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型号 |
说明 |
PAPL-C7-18NU |
C7型压电预压致动器,有效行程18μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa |
PAPL-C7-36NU |
C7型压电预压致动器,有效行程36μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa |
PAPL-C7-54NU |
C7型压电预压致动器,有效行程54μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa |
PAPL-C7-60NU |
C7型压电预压致动器,有效行程72μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa |
PAPL-C7-90NU |
C7型压电预压致动器,有效行程90μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa |
PAPL-C7-108NU |
C7型压电预压致动器,有效行程108μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa |
PAPL-C7-180NU |
C7型压电预压致动器,有效行程180μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa |
PAPL系列C7型压电预压致动器,应变片闭环、真空兼容版本 |
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型号 |
说明 |
PAPL-C7-18SU |
C7型压电预压致动器,有效行程18μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa |
PAPL-C7-36SU |
C7型压电预压致动器,有效行程36μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa |
PAPL-C7-54SU |
C7型压电预压致动器,有效行程54μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa |
PAPL-C7-60SU |
C7型压电预压致动器,有效行程72μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa |
PAPL-C7-90SU |
C7型压电预压致动器,有效行程90μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa |
PAPL-C7-108SU |
C7型压电预压致动器,有效行程108μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa |
PAPL-C7-180SU |
C7型压电预压致动器,有效行程180μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa |