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C7系列压电预压致动器
C7系列压电预压致动器
C7系列压电预压致动器
主要特点

  • 2000N推力
  • 10亿次使用寿命的压电陶瓷
  • 亚纳米级分辨率
  • 结构简单,体积小巧 
  • 适用10⁻⁵Pa及以下高真空环境
  • 集成球形端头

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主要应用
  • 静态和动态精密定位
  • 光纤定位调节
  • 激光调谐    
  • 微纳技术
性能简介

预压致动器是一种压电陶瓷叠堆的铠装设备,起到保护叠堆和方便安装的作用,同时预压致动器内部对压电陶瓷施加了预压力,可提供一定的拉力和对位移输出的调节。预压致动器可内部集成应变片实现闭环控制。

机械尺寸图

默认输出端为球头,可定制其他输出端结构。

技术参数
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单位

公差

PAPL-C7-18N

PAPL-C7-36N

PAPL-C7-54N

PAPL-C7-72N

PAPL-C7-90N

PAPL-C7-108N

PAPL-C7-180N

行程@150V*

μm

±20%

18

36

54

72

90

108

180

电容**

μF

±20%

3

6

9

12

15

18

30

开环分辨率

nm

典型值

0.18

0.36

0.54

0.72

0.9

1.08

1.8

集成传感器***

 

 

SGS

SGS

SGS

SGS

SGS

SGS

SGS

闭环分辨率***

nm

典型值

0.36

0.72

1.08

1.44

1.8

2.16

3.6

谐振频率

kHz

±20%

22

17.5

15

13

11

10

4.5

刚度

N/μm

±20%

225

107

75

57

44

38

10

推力****

N

最大值

2000

2000

2000

2000

2000

2000

2000

拉力

N

最大值

150

150

150

150

150

150

150

工作电压

V

 

-20~150

-20~150

-20~150

-20~150

-20~150

-20~150

-20~150

工作温度范围

°C

 

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

电压接口

   

LEMO FFA.00.250

传感器接口

   

LEMO FFA.0S.304

线长

m

±0.02m

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

* 空载下位移输出
** 电容测试条件:常温环境,1Vpp,1kHz
*** 闭环参数只适用闭环版本的压电预压致动器
**** 推力测试:驱动电压0~150V
其他规格可根据客户需求进行定制
定制信息

PAPL系列C7型压电预压致动器,开环版本

型号

说明

PAPL-C7-18N

C7型压电预压致动器,有效行程18μm,开环

PAPL-C7-36N

C7型压电预压致动器,有效行程36μm,开环

PAPL-C7-54N

C7型压电预压致动器,有效行程54μm,开环

PAPL-C7-60N

C7型压电预压致动器,有效行程60μm,开环

PAPL-C7-90N

C7型压电预压致动器,有效行程90μm,开环

PAPL-C7-108N

C7型压电预压致动器,有效行程108μm,开环

PAPL-C7-180N

C7型压电预压致动器,有效行程180μm,开环

 

PAPL系列C7型压电预压致动器,应变片闭环版本

型号

说明

PAPL-C7-18S

C7型压电预压致动器,有效行程18μm,应变片闭环

PAPL-C7-36S

C7型压电预压致动器,有效行程36μm,应变片闭环

PAPL-C7-54S

C7型压电预压致动器,有效行程54μm,应变片闭环

PAPL-C7-60S

C7型压电预压致动器,有效行程60μm,应变片闭环

PAPL-C7-90S

C7型压电预压致动器,有效行程90μm,应变片闭环

PAPL-C7-108S

C7型压电预压致动器,有效行程108μm,应变片闭环

PAPL-C7-180S

C7型压电预压致动器,有效行程180μm,应变片闭环

 

PAPL系列C7型压电预压致动器,开环、真空兼容版本

型号

说明

PAPL-C7-18NU

C7型压电预压致动器,有效行程18μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-C7-36NU

C7型压电预压致动器,有效行程36μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-C7-54NU

C7型压电预压致动器,有效行程54μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-C7-60NU

C7型压电预压致动器,有效行程72μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-C7-90NU

C7型压电预压致动器,有效行程90μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-C7-108NU

C7型压电预压致动器,有效行程108μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-C7-180NU

C7型压电预压致动器,有效行程180μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa

 

PAPL系列C7型压电预压致动器,应变片闭环、真空兼容版本

型号

说明

PAPL-C7-18SU

C7型压电预压致动器,有效行程18μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-C7-36SU

C7型压电预压致动器,有效行程36μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-C7-54SU

C7型压电预压致动器,有效行程54μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-C7-60SU

C7型压电预压致动器,有效行程72μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-C7-90SU

C7型压电预压致动器,有效行程90μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-C7-108SU

C7型压电预压致动器,有效行程108μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-C7-180SU

C7型压电预压致动器,有效行程180μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa

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