磁浮多轴运动台（Maglev Multi-axis Stage）
平台概要
磁浮多轴运动台采用高度模块化，超薄型等设计理念，实现X、Z和Rz轴3自由度的高精度、高刚度直线和旋转运动。其中垂向采用了大行程磁浮重力补偿技术，降低垂向电机的载荷，极大的提高垂向运动性能和寿命的功能。平台特性
- 高度模块化3轴平台，正交性设计
- 全局平面度、直线度达微米级
- X轴
- 高刚度防蠕变交叉滚柱导轨
- 无线缆扰动力设计
- Z轴
- 垂向磁悬浮重力补偿，可实现极高定位精度
- 高刚性、高精度导向设计
- 超薄型、轻量化设计，模块化设计
- 垂向最大可支持30mm行程
- Rz轴
- 360°旋转，无管路缠绕
- 支持12’、8’、 6’多种规格晶圆吸附
- 支持最大±0.7mm翘曲晶圆
- 最大支持转速240rpm
典型应用
- 可广泛应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等。
- 没有了
