磁浮多轴运动台(Maglev Multi-axis Stage)

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磁浮多轴运动台(Maglev Multi-axis Stage)

 



平台概要

磁浮多轴运动台采用高度模块化,超薄型等设计理念,实现X、Z和Rz轴3自由度的高精度、高刚度直线和旋转运动。其中垂向采用了大行程磁浮重力补偿技术,降低垂向电机的载荷,极大的提高垂向运动性能和寿命的功能。
 

平台特性

  • 高度模块化3轴平台,正交性设计
  • 全局平面度、直线度达微米级
  • X轴
  • 高刚度防蠕变交叉滚柱导轨
  • 无线缆扰动力设计
  • Z轴
  • 垂向磁悬浮重力补偿,可实现极高定位精度
  • 高刚性、高精度导向设计
  • 超薄型、轻量化设计,模块化设计
  • 垂向最大可支持30mm行程
  • Rz轴
  • 360°旋转,无管路缠绕
  • 支持12’、8’、 6’多种规格晶圆吸附
  • 支持最大±0.7mm翘曲晶圆
  • 最大支持转速240rpm

典型应用

  • 可广泛应用于晶圆生产控制应用,例如薄膜计量、关键尺寸检查等。

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