磁悬浮垂向与旋转台（MZT Stage）
平台概要
磁悬浮垂向与旋转台（MZT Module）采用旋转运动平台和创新性垂向运动在轴向进行耦合的设计思想，具有极为紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现垂向轴与旋转轴2自由度的高精度、高刚度运动。旋转轴可无限制旋转。垂向采用了大行程磁浮重力补偿技术，降低了垂向电机的载荷，极大地提高了垂向运动性能和寿命。该MZT台也可集成在YG的XY台之上，实现模块化搭配组装。
平台特性
- 高精度无限制旋转运动
- 双轴高刚性精密导向设计
- 大行程磁浮重力补偿技术
- 高质量的Z轴抖动及运动和稳定性能
- 全闭环伺服设计
- 垂向最大可支持30mm行程
- 支持12’、8’、6’多种规格晶圆吸附
典型应用
该平台可广泛应用于：- 晶圆工艺控制应用，例如光学关键尺寸检查和薄膜计量
- 晶圆划线、清洁和切割
- 晶圆激光热处理
- 光刻后段
