磁悬浮垂向与旋转台(MZT Stage)

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磁悬浮垂向与旋转台(MZT Stage)

 







平台概要

磁悬浮垂向与旋转台(MZT Module)采用旋转运动平台和创新性垂向运动在轴向进行耦合的设计思想,具有极为紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现垂向轴与旋转轴2自由度的高精度、高刚度运动。旋转轴可无限制旋转。垂向采用了大行程磁浮重力补偿技术,降低了垂向电机的载荷,极大地提高了垂向运动性能和寿命。
该MZT台也可集成在YG的XY台之上,实现模块化搭配组装。
 

 

平台特性

  • 高精度无限制旋转运动
  • 双轴高刚性精密导向设计
  • 大行程磁浮重力补偿技术
  • 高质量的Z轴抖动及运动和稳定性能
  • 全闭环伺服设计
  • 垂向最大可支持30mm行程
  • 支持12’、8’、6’多种规格晶圆吸附
 

典型应用

该平台可广泛应用于:
  • 晶圆工艺控制应用,例如光学关键尺寸检查和薄膜计量
  • 晶圆划线、清洁和切割
  • 晶圆激光热处理
  • 光刻后段

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