高精度动磁铁直线电机是高端光刻机中的必不可缺的核心运动部件，目前其关键技术被国外巨头厂家垄断，并对我国实施极其严苛的出口数量管控导致被事实上禁运。本项目的实施将打破国外技术封锁，为国产光刻机的核心部件国产化做出重要贡献。

      本次我司获得“揭榜挂帅”项目立项支持，既是对我司独立自主创新与实践能力的肯定，也是对我们极大的鼓舞。我们将继续以解决卡脖子问题为重要使命，以国家重大需求为导向，直面市场竞争，立志成为半导体装备核心运动部件领域名副其实的隐形冠军。