复合式二维平台（Planar Platform）
平台概要
复合式二维平台是二维机械导轨+空气轴承复合式运动平台，可以让客户最佳地享用机械导轨与空气轴承导轨各自的优点。机械导轨在XY平面的高刚性以能承受较大加速度和提供极高的双向重复精度。而空气轴承确保全行程优异的动态平面度。该平台其采用模块化、正交性等设计理念，包含YG的MZT模块和复合式XY台模块。MZT模块集成在复合式XY台模块之上，能实现X、Z、Rz和Z轴4自由度的高精度、高刚度直线和旋转运动。MZT模块的垂向采用了独有的大行程磁浮重力补偿技术，降低了垂向电机的载荷，极大地提高了垂向运动性能和寿命。复合式XY台模块采用驱动质心匹配、柔性龙门以及轻量化设计技术，具有降低对高精度机械导轨的偏质心冲击，提高运动系统的可靠性和寿命的能力，并具有对轻微平移Y1及Y2电机进行偏向修正功能。
该平台也可集成在YG的主动减振系统模块之上，进一步提高系统性能。
平台特性
- 集成式5轴平台，正交性设计
- 平面度、直线度达微米级
- 机械导轨与气浮导轨的复合应用
- X/Y轴
- 无线缆扰动力设计
- 高刚度内循环滚柱导轨，提供极高的双向重复精度
- 高性能气浮导轨，确保全行程优异的动态平面度
- Z轴
- 垂向磁悬浮重力补偿，可实现极高定位精度
- 高刚性、高精度导向设计
- 超薄型、轻量化设计、模块化设计
- 垂向最大可支持30mm行程
- Rz轴
- 360°旋转，无管路缠绕
- 支持12’、8’、6’多种规格晶圆吸附
- 最大支持转速240rpm
典型应用
该平台可广泛应用于：- 晶圆工艺控制应用，例如光学关键尺寸检查和薄膜计量
- 晶圆划线、清洁和切割
- 晶圆激光热处理
- 光刻后段
