晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等，以及晶圆划线和晶圆激光退火等。特别适用于特定大型面板/基体上的倒晶封装。
堆叠式精密六维运动台采用模块化、超薄设计、正交性设计等的理念，将Z3T标准模组集成在 XYY堆叠式水平运动模组之上，能实现X、Y、Rx、Ry、T和Z轴6自由度的高精度、高刚度运动。
其中Z3T标准模组采用紧凑设计技术，集成了Z、Rx、Ry和T轴，具有优异的定位精度、平面度、直线度、刚性和重复性精度。垂向采用了独特的磁浮重力补偿技术，降低了垂向音圈电机的载荷 ,很大程度地提高了垂向运动性能和寿命。
XYY堆叠式水平运动模组采用集成式、正交性设计理念， 具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。
*接口尺寸数据来源于M6S800，且垂向处于中间位。
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单位 |
M6S800-00 |
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轴 |
- |
X |
Y1/Y2 |
T |
CoarseZ |
FineZ |
Tip-Tilt |
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行程 |
- |
456 mm |
355 mm |
364° |
15 mm |
±2mm |
±0.2° |
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最大速度 |
- |
1.5 m/s |
1.5 m/s |
150 rpm |
0.1 m/s |
0.05 m/s |
- |
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加速度 |
- |
25 m/s^2 |
25 m/s^2 |
7200°/s^2 |
- |
1m/s^2 |
- |
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精度_校准前 |
- |
±10 μm |
±10 μm |
±10 arcsec |
- |
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- |
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精度_校准后 |
- |
±0.8 μm |
±0.8 μm |
±0.75 arcsec |
- |
±0.02 μm |
- |
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双向重复精度 |
- |
±0.35 μm |
±0.35 μm |
±2 aresec |
- |
±0.01 μm |
- |
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位置稳定性 （3σ）* |
- |
±20 nm |
±20 nm |
±0.2 aresec |
- |
±15 nm* |
±0.005 arcsec |
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直线度 |
- |
±2.5 μm |
±5 μm |
- |
- |
2 μm |
- |
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俯仰 |
- |
±5 arcsec |
±5 arcsec |
- |
- |
- |
- |
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横滚 |
- |
±5 arcsec |
±5 arcsec |
- |
- |
- |
- |
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偏摆 |
- |
±10 arcsec |
±1.5 arcsec |
- |
- |
±0.5 arcsec |
- |
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机械特征 |
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驱动负载 （无负载） |
Kg |
16 |
40 |
- |
0.4 |
10 |
- |
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最大负载 |
Kg |
2（可定制） |
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平台质量 |
Kg |
112 |
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外观尺寸 |
mm×mm×mm |
864.6×661.9×378 |
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*测试数据来源于采用8μmpitch光栅尺的测试，且运动台处于主动隔振环境下。
在M6S800-00 产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括编码器、控制系统等选项。
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表 1编码器选项 |
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-S1 |
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp |
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-S2 |
增量式数字光学式线性编码器，TTL |
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-S3 |
绝对式光学式线性编码器，BISS |
